【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopinggases;determinationofoxygenimpurityinN,Ar,He,NeandHbyusingagalvaniccell
【原文标准名称】:半导体工艺材料的检验.载运气体和混合气体中杂质的测定.第2部分:用原电池测定氮(下标2)、氩、氦、氖、氢(下标2)中的氧杂质
【标准号】:DIN50450-2-1991
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:1991-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:容积测量;氢;氮;掺杂气体;电流的;载气;化工品;含量;半导体;气体;含量测定;体积;氧;掺杂剂;化学分析和试验;杂质;半导体工艺;分析;半导体材料;材料试验;氩;半导体工程;测头;材料;氦;试验
【英文主题词】:
【摘要】:ThestandardshoulddefinethetestmethodfordeterminingthecontentofOinthecarrieranddopinggasesN,Ar,He,NeandH.#,,#
【中国标准分类号】:G86
【国际标准分类号】:71_100_20
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语